Mahr马尔 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。 MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在一开始设备的经验的基础上，又经过系统化的设计。 各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。 亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。 | |
产品信息 • 一步完成粗糙度和轮廓测量 • 高测量和定位速度可大幅减少测量时间 • 创新的测头系统解决方案 • 快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆 • 长测量长度，高达260mm，测量行程 13 mm（100 mm 测杆长度）或 26 mm（200 mm 测杆长度） • 模块结构，方便维护 |
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Mahr马尔 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。
MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在一开始设备的经验的基础上，又经过系统化的设计。
各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。
亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
产品特点：
• 一步完成粗糙度和轮廓测量
• 高测量和定位速度可大幅减少测量时间
• 创新的测头系统解决方案
• 快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆
• 长测量长度，高达260mm，测量行程 13 mm（100 mm 测杆长度）或 26 mm（200 mm 测杆长度）
• 模块结构，方便维护
| MarSurf LD 260 | 产品编号 6720826 | |
| 分辨率 | 0.8 nm |
| 扫描长度开始（X 方向） | 0.1 mm |
| 扫描长度末尾（X 方向） | 260 mm |
| 扫描长度 (Lt) | 0.1 - 260 mm |
| 导块偏差 | 0.10 µm / 60 mm 0.20 µm / 130 mm 0.40 µm / 260 mm |
| 测量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN，可软件调整 |
| 测量速度 | 0.02 mm/s 到 10 mm/s |
| Positioning speed X-axis min. | 0.02 mm/s |
| positioning speed X-axis max. | 200 mm/s |
| 定位速度 (mm/s)，X 轴 | 0.02 - 200 mm/s |
| 测头 | 集成粗糙度和轮廓测头系统 |
| 测杆长度 | 100 mm、150 mm、200 mm |
| 重量（毛重） | 27.5 KG |
| 测量范围 mm | 13 mm（100 mm 测杆） 26 mm（200 mm 测杆） |
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