该技术以 LED 为光源,光束经多孔盘与物镜聚焦于样品表面,反射光仅保留焦点信号,彻底隔绝杂散光干扰;通过高速扫描采集千幅截面图像,垂直叠加还原全像素 3D 形貌,单次测量仅需 3—5 秒,兼顾效率与精度。其非接触式测量适配各类材料,无需制样、无损伤,16 位高动态范围可清晰捕捉高低反射表面,数据为物理原生采集,真实可靠。

德国马尔 MarSurf 3D 白光共聚焦表面形貌仪,将核心技术落地为工业级产品,MarSurf CM 系列光学 3D 显微镜尤为突出。该系列搭载专利多孔转盘共聚焦技术,垂直分辨率最高达 2 纳米,测量噪点低至 1 纳米;支持 5—100 倍物镜切换,800 张高清拼接实现大范围高分辨率成像,全方位碰撞保护与工业级大理石结构保障稳定耐用。
