3D 白光共聚焦技术革新精密测量 马尔光学 3D 显微镜引领行业新标准

2026-03-30
来源: 无锡朗拓智能装备有限公司
技术动态
当前,精密制造对微观表面表征提出更高要求,3D 白光共聚焦技术凭借非接触、高精度、快检测等优势,成为高端检测主流方案,为半导体、精密加工、新材料等领域提供可靠支撑。

该技术以 LED 为光源,光束经多孔盘与物镜聚焦于样品表面,反射光仅保留焦点信号,彻底隔绝杂散光干扰;通过高速扫描采集千幅截面图像,垂直叠加还原全像素 3D 形貌,单次测量仅需 3—5 秒,兼顾效率与精度。其非接触式测量适配各类材料,无需制样、无损伤,16 位高动态范围可清晰捕捉高低反射表面,数据为物理原生采集,真实可靠。

德国马尔 MarSurf 3D 白光共聚焦表面形貌仪,将核心技术落地为工业级产品,MarSurf CM 系列光学 3D 显微镜尤为突出。该系列搭载专利多孔转盘共聚焦技术,垂直分辨率最高达 2 纳米,测量噪点低至 1 纳米;支持 5—100 倍物镜切换,800 张高清拼接实现大范围高分辨率成像,全方位碰撞保护与工业级大理石结构保障稳定耐用。

设备覆盖 CM explorer、expert、select、mobile 等型号,适配实验室研发、产线质检、现场便携检测等场景,一键测量、自动生成报告,数据符合 ISO 25178 等标准,与接触式测量关联度达 99%,是精密表面测量的优选方案。